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Documentiamo gli spessori degli strati per mezzo dell'analisi di fluorescenza a raggi X. Nell'analisi di fluorescenza a raggi X (XRF), gli atomi delle sostanze di riferimento e di analisi sono eccitati dallo spettro di linee e freni di un tubo a raggi X per emettere la loro caratteristica radiazione di fluorescenza a raggi X.
La radiazione emessa dal campione viene scomposta per monocromatizzazione sui cristalli dell'analizzatore nello spettrometro in modo da poter misurare le intensità delle singole linee spettrali o regioni spettrali (dispersione della lunghezza d'onda). Dopo le correzioni per gli effetti della matrice e le sovrapposizioni di linee, l'intensità misurata di una linea di un elemento rappresenta una misura della concentrazione dell'elemento.
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